1) آزمایشگاه پیشرفته پلاسما
این آزمایشگاه شامل دستگاههای پلاسمای کانونی و لایه نشانی در محیط پلاسما میباشد.
دستگاه پلاسمای کانونی
دستگاه لایه نشانی در محیط پلاسما
2- آزمایشگاه لایه نشانی
در این آزمایشگاه لایه نشانی به روشهای تبخیر در خلا، اسپاترینگ و تفنگ الکترونی انجام میشود.
دستگاه اسپاترینگ